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碳化硅在碳化硅研磨盘上的用途？

发布时间：2021-04-08 17:45:02 作者：王经理 18039336686 来源：未知人气：

碳化硅在碳化硅研磨盘上的用途？
碳化硅研磨盘是半导体行业中超大规模集成电路用硅片生产的重要工艺装备。采用碳化硅陶瓷的研磨盘由于硬度高研磨盘的磨损小，且热膨胀系数与硅片基本相同因而可以高速研磨、抛光。特别是近几年来的硅片尺寸越来越大，对硅片研磨的质量和效率提出了更高的要求。碳化硅陶瓷研磨盘的使用将使硅片研磨的质量和效率有很大的提高。

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